| 摘要 |
本发明的回收杯洗净方法系将回收杯洗净的方法，该回收杯系具有将引导基板处理所使用药液的回收空间予以区隔的内壁，并为了回收经导入该回收空间的药液而导入于既定药液回收路径；该方法系包括有：洗净液洗净步骤、药液洗净步骤及废弃步骤；而，该洗净液洗净步骤系将上述回收空间的内壁使用洗净液施行洗净；该药液洗净步骤系在该洗净液洗净步骤后，将上述回收空间的内壁，使用与应经由上述回收空间而回收的上述药液为同种类之洗净用药液来洗净；该废弃步骤系将在上述洗净液洗净步骤中被导入于上述回收空间的洗净液、及在上述药液洗净步骤中被导入于上述回收空间的洗净用药液，导入于和上述药液回收路径不同的废液路径，并进行废弃。 |
