探测的测试器及利用其之晶圆测试方法

摘要

在此揭露的是探测测试器及利用该测试器的晶圆测试方法。该探测测试器包括夹盘、复数个支撑销以及真空装置。该夹盘被配置成其上安置有该晶圆，并且设置有复数个相对于其上表面而垂直贯通其的贯通孔。该复数个支撑销系位于夹盘之下，且设置有从其上端至下端所形成的真空孔，并且被设置在与该复数个贯通孔相对应的位置上。该真空装置系被配置以在该复数个真空孔内形成真空状态，使得晶圆被吸引并且保持在该复数个支撑销的上端。