发明名称 |
热处理装置 |
摘要 |
(课题)本发明之目的在于提供一种热处理装置,使配置作为防尘壁之各个复数片耐热玻璃之接合部分中不形成间隙,确实防止从外壁构件和加热器所产生之尘埃侵入至搬送路径内,因此能提高搬送路径内之清净度。;(解决手段)将上面复数耐热玻璃31配置于排气箱4之上面的上方处。各耐热玻璃31之配置,使搬送路径下游侧之端部31A,跟与下游侧邻接之其他耐热玻璃31的上游侧之端部31B的上方重合。在该重合部分处,可配置耐热之密封薄板。 |
申请公布号 |
TWI363172 |
申请公布日期 |
2012.05.01 |
申请号 |
TW095113352 |
申请日期 |
2006.04.14 |
申请人 |
光洋热系统股份有限公司 日本 |
发明人 |
浦西芳和;梶田博;森本岩穗 |
分类号 |
F27B9/04;F27B9/30;H01L21/324 |
主分类号 |
F27B9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
主权项 |
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地址 |
日本 |