发明名称 热处理装置
摘要 (课题)本发明之目的在于提供一种热处理装置,使配置作为防尘壁之各个复数片耐热玻璃之接合部分中不形成间隙,确实防止从外壁构件和加热器所产生之尘埃侵入至搬送路径内,因此能提高搬送路径内之清净度。;(解决手段)将上面复数耐热玻璃31配置于排气箱4之上面的上方处。各耐热玻璃31之配置,使搬送路径下游侧之端部31A,跟与下游侧邻接之其他耐热玻璃31的上游侧之端部31B的上方重合。在该重合部分处,可配置耐热之密封薄板。
申请公布号 TWI363172 申请公布日期 2012.05.01
申请号 TW095113352 申请日期 2006.04.14
申请人 光洋热系统股份有限公司 日本 发明人 浦西芳和;梶田博;森本岩穗
分类号 F27B9/04;F27B9/30;H01L21/324 主分类号 F27B9/04
代理机构 代理人 赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼
主权项
地址 日本