发明名称 用于记忆体单元形成之原位表面处理
摘要 揭示一种用于在导电层上形成被动层的系统及方法,可在有机记忆体单元的制造期间完成,大体可减少知无机记忆体元件的固有缺点。该被动层包含导电促进化合物,例如硫化铜(Cu2S),其系由导电材料的上部产生。该导电材料可作为记忆体单元中之下层电极,且可经由用从氟(F)基底气体产生的电浆处理将该导电材料的上部转化为被动层。
申请公布号 TWI363370 申请公布日期 2012.05.01
申请号 TW094110432 申请日期 2005.04.01
申请人 史班逊有限公司 美国 发明人 刘台凤(安琪拉T)
分类号 H01L21/00;H01L21/311 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项
地址 美国