全自动进出料装置及其方法

摘要

本发明提供了一种全自动进出料装置及方法，藉由一工作台承载一第一工作物件，并进行晶粒分选的步骤，而藉由一载入器存放一第二工作物件，并以一取片机构载出第二工作物件至一取放位置，在工作台及载入器之间，藉由同步传送机构或一机械手臂进行第一工作物件及第二工作物件位置的交换。其中，第一工作物件及第二工作物件为分料盒、晶圆环、与分料盒及晶圆环以上三者其中之一。