发明名称 Photonic MEMS and structures
摘要
申请公布号 US8169687(B2) 申请公布日期 2012.05.01
申请号 US12360005 申请日期 2009.01.26
申请人 发明人
分类号 G02B0026/000000;G02F0001/000001 主分类号 G02B0026/000000
代理机构 代理人
主权项
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