发明名称 Verfahren zum Herstellen von monokristallinem Siliziumkarbid und dessen Verwendung
摘要
申请公布号 CH480869(A) 申请公布日期 1969.11.15
申请号 CH19660012372 申请日期 1966.08.26
申请人 DOW CORNING CORPORATION 发明人 LANE KERN,EDWARD;WILLEM HAMILL,DENNIS
分类号 C30B25/02;H01L29/24;(IPC1-7):B01J17/32;C01B31/36;H01L3/16 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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