发明名称 PENETRATING PLASMA GENERATING APPARATUS FOR HIGH VACUM CHAMBERS
摘要
申请公布号 IL218340(D0) 申请公布日期 2012.04.30
申请号 IL20120218340 申请日期 2012.02.27
申请人 MOSAIC CRYSTALS LTD 发明人
分类号 H01J 主分类号 H01J
代理机构 代理人
主权项
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