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发明名称
PROCEDE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE MULTICOUCHE AVEC DETOURAGE PAR EFFETS THERMOMECANIQUES.
摘要
申请公布号
FR2957190(B1)
申请公布日期
2012.04.27
申请号
FR20100051487
申请日期
2010.03.02
申请人
S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
VAUFREDAZ ALEXANDRE;MOLINARI SEBASTIEN
分类号
H01L21/302;H01L21/461
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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