发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE MULTICOUCHE AVEC DETOURAGE PAR EFFETS THERMOMECANIQUES.
摘要
申请公布号 FR2957190(B1) 申请公布日期 2012.04.27
申请号 FR20100051487 申请日期 2010.03.02
申请人 S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 VAUFREDAZ ALEXANDRE;MOLINARI SEBASTIEN
分类号 H01L21/302;H01L21/461 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利