| 摘要 |
Измеритель наноперемещений, содержащий пьезопривод, жестко связанный с неподвижной платформой, зонд, закрепленный на торце пьезопривода и связанный с подложкой, установленной на подложкодержателе, жестко связанным с неподвижным основанием, отличающийся тем, что измеритель дополнительно снабжен лазером, жестко связанным с неподвижным основанием; полупрозрачной пластиной, связанной с торцами пьезопривода, ось лазера и плоскость пластины установлены под углом 45°; двумя зеркалами, расположенными взаимно перпендикулярно, первое зеркало закреплено на неподвижной платформе, второе зеркало закреплено на торце пьезопривода; фотоприемником, закрепленным на неподвижном основании, ось фотоприемника перпендикулярна оси лазера, что обеспечивает возможность приема фотоприемником преломленного и отраженного лучей от полупроводниковой пластины. |
