| 摘要 |
1. Способ импульсно-периодической ионной обработки металлического изделия, включающий в себя следующие операции: помещение металлических изделий в вакуумную камеру, подачу ионизируемого вещества внутрь камеры, ионизацию ионизируемого вещества для формирования ионной плазмы вблизи подвергающихся имплантации поверхностей металлических изделий и ускорение ионов в плазме при помощи электрического поля, отличающийся тем, что перед операцией имплантации поверхность металлического изделия очищают от загрязнений путем бомбардировки ионами и электронами, затем поочередно и многократно осуществляют генерацию плазмы и ускорение ионов из плазмы имплантируемого вещества. ! 2. Устройство импульсно-периодической ионной обработки металлического изделия, отличающееся тем, что содержит заземленную металлическую вакуумную камеру с закрепленными в ней внешним электродом и опорным электродом, которые подключены через вакуумные проходные изоляторы к источнику напряжения, подключенному через блок управления к первому коммутатору, соединенному с первым высоковольтным емкостным накопителем, подключенным к средней точке вторичной обмотки высоковольтного импульсного трансформатора, и ко второму коммутатору, соединенному со вторым высоковольтным емкостным накопителем, подключенным к первичной обмотке высоковольтного импульсного трансформатора. |
