| 摘要 |
Target für das Abscheiden von Mischkristallschichten mit wenigstens zwei verschiedenen Metallen auf einem Substrat mittels Lichtbogenverdampfen (Arc-PVD), wobei das Target wenigstens zwei verschiedenen Metalle umfasst. Um Mischkristallschichten herzustellen, die möglichst frei sind von Makropartikeln (Droplets), liegt erfindungsgemäß wenigstens das Metall mit der niedrigsten Schmelztemperatur in dem Target in einer keramischen Verbindung vor, nämlich als ein Metalloxid, Metallcarbid, Metallnitrid, Metallcarbonitrid, Metalloxinitrid, Metalloxicarbid, Metalloxicarbonitrid, Metallborid, Metallboronitrid, Metallborocarbid, Metallborocarbonitrid, Metallborooxinitrid, Metallborooxocarbid, Metallborooxocarbonitrid, Metalloxoboronitrid, Metallsilicat oder Gemisch davon, und wenigstens ein von dem Metall mit der niedrigsten Schmelztemperatur verschiedenes Metall liegt in dem Target in elementarer (metallischer) Form vor. |
