发明名称 Procedimiento e instalación de pulido bajo vacío por pulverización magnetrón de una banda magnética
摘要 Procedimiento de pulido bajo vacío por pulverización magnetrón de una banda metálica (2) que pasa por encima de al menos un contra-electrodo (3, 3', 7) de material conductor por un recinto bajo vacío (1), en el cual se crea un plasma en un gas cerca de la indicada banda metálica (2), con el fin de generar radicales y/o iones que actúan sobre esta banda metálica (2), estando un circuito magnético de confinamiento (4) colocado por encima de la mencionada banda metálica (2), caracterizado porque el indicado contraelectrodo (3, 3', 7) presenta una superficie móvil, en rotación y/o en translación, con relación a la indicada banda metálica (2), poniéndose la indicada superficie en movimiento en el pulido y siendo limpiada en continuo por un dispositivo de limpieza (5, 5', 10) situado en la sombra de dicho plasma antes de exponerse de nuevo al indicado plasma.
申请公布号 ES2379490(T3) 申请公布日期 2012.04.26
申请号 ES20060831028T 申请日期 2006.10.26
申请人 ARCELORMITTAL FRANCE 发明人 CORNIL, HUGUES;DEWEER, BENOIT;MABOGE, CLAUDE
分类号 H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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