TEMPERATURE SENSOR DEVICE

摘要

Eine Temperatursensorvorrichtung (100) weist ein Trägersubstrat (10) sowie eine erste Temperaturmessstruktur (T1) und eine zweite Temperaturmessstruktur (T2) auf. Das Trägersubstrat (10) weist einen ersten Bereich (B1) und einen zweiten Bereich (B2) auf, wobei der erste Bereich (B1) beim Betrieb der Temperatursensorvorrichtung (100) einem Gasstrom ausgesetzt ist und der zweite Bereich (B2) zu dem ersten Bereich (B1) in axialer Richtung entlang einer Längsachse (L) des Trägersubstrats (10) vorgegeben beabstandet ist. Die erste Temperaturmessstruktur (T1) ist in dem ersten Bereich (B1) angeordnet. Die zweite Temperaturmessstruktur (T2) ist in dem zweiten Bereich (B2) angeordnet.