| 发明名称 |
MOLECULAR BEAM EPITAXY APPARATUS FOR PRODUCING WAFERS OF SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120040152(A) |
申请公布日期 |
2012.04.26 |
| 申请号 |
KR20117030375 |
申请日期 |
2010.06.17 |
| 申请人 |
RIBER |
发明人 |
VILLETTE JEROME;CASSAGNE VALERICK;CHAIX CATHERINE |
| 分类号 |
C30B23/02;C23C14/56;C30B29/40;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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