一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法

摘要

本发明公开一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法，分别以径向磁轴承定子内圆中心和径向位移传感器定子内圆中心为原点建立径向磁轴承坐标系和径向位移传感器坐标系。通过获得在径向磁轴承坐标系下所述径向保护轴承定子内圆中心坐标，得到所述径向磁轴承定子内圆中心与所述径向保护轴承定子内圆中心在X、Y方向的偏差。根据这一偏差，获得在径向位移传感器坐标系下的径向磁轴承定子内圆中心。通过上述过程调整转子的第一径向悬浮中心和第二径向悬浮中心于第一径向磁轴承定子内圆中心和第二径向磁轴承定子内圆中心处，保证磁悬浮分子泵系统稳定运行。

主权项

一种获取磁悬浮分子泵转子径向悬浮中心的方法，其特征在于，包括如下步骤：A.获取转子第一径向悬浮中心，包括如下步骤①在第一径向磁轴承装入所述磁悬浮分子泵之前，将第一径向磁轴承定子固定于标定台架上，并将转子插入第一径向磁轴承定子内圆中，以第一径向磁轴承定子内圆中心为坐标原点建立第一径向磁轴承坐标系；利用所述第一径向磁轴承的磁极对线圈得到第一径向磁轴承坐标系下，所述第一径向磁轴承的X正向磁极对线圈的电感值与转子X方向位移的数据关系Lx+＝f1(x)和X负向磁极对线圈的电感值与转子X方向位移的数据关系Lx‑＝f2(x)；及Y正向磁极对线圈的电感值与转子Y方向位移的数据关系Ly+＝f1(y)和Y负向磁极对线圈的电感值与转子Y方向位移的数据关系Ly‑＝f2(y)；②将所述第一径向磁轴承装入所述磁悬浮分子泵，得到转子位于第一径向保护轴承X正向极限位置时，所述第一径向磁轴承的所述X负向磁极对线圈的电感值L′xmin‑，和转子位于所述第一径向保护轴承X负向极限位置时，所述第一径向磁轴承的所述X正向磁极对线圈的电感值L′xmin+；以及转子位于所述第一径向保护轴承Y正向极限位置时，所述Y负向磁极对线圈的电感值L′ymin‑，和转子位于所述第一径向保护轴承Y负向极限位置时，所述Y正向磁极对线圈的电感值L′ymin+；将L′xmin+代入Lx+＝f1(x)计算得到在第一径向磁轴承坐标系下所述第一径向保护轴承定子内圆X负向极限位置的坐标X′min；将L′xmin‑代入Lx‑＝f2(x)计算得到在第一径向磁轴承坐标系下所述第一径向保护轴承定子内圆X正向极限位置的坐标X′max；由此得到第一径向保护轴承定子内圆中心在第一径向磁轴承坐标系下的X方向位置坐标X′b0＝(X′max+X′min)/2；将L′ymin+代入Ly+＝f1(y)计算得到在第一径向磁轴承坐标系下所述第一径向保护轴承定子内圆Y负向极限位置的坐标Y′min；将L′ymin‑代入Ly‑＝f2(y)计算得到在第一径向磁轴承坐标系下所述第一径向保护轴承定子内圆Y正向极限位置的坐标Y′max；由此得到所述第一径向保护轴承定子内圆中心在第一径向磁轴承坐标系下的Y方向位置坐标Y′b0＝(Y′max+Y′min)/2；由此得到所述第一径向磁轴承定子内圆中心与所述第一径向保护轴承定子内圆中心在X、Y方向的偏差为ΔX0＝‑X′b0和ΔY0＝‑Y′b0；③以第一径向位移传感器定子内圆中心为坐标原点建立第一径向位移传感器坐标系并获得在第一径向位移传感器坐标系下，所述第一径向保护轴承定子内圆中心坐标(Xb0，Yb0)；④最终得到在第一径向位移传感器坐标系下，所述第一径向磁轴承定子内圆中心坐标为(Xb0‑X′b0，Yb0‑Y′b0)，此即为磁悬浮分子泵转子的第一径向悬浮中心；B.用与步骤A所述获取转子第一径向悬浮中心相同的方法获取转子第二径向悬浮中心。