| 发明名称 | 密封装置及密封系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种密封装置，涉及半导体工艺设备的密封技术领域，该装置包括：充气密封圈及为所述充气密封圈充气的充气装置，所述充气密封圈用于密封待密封空间，所述充气密封圈包括：充气圈及与所述充气圈形成为一体的固定座，所述充气圈用于密封待密封空间，所述固定座用于固定所述充气密封圈。还公开了一种密封系统，包括上述密封装置和密封门。本发明采用充气密封圈，在密封时消除密封门与门框之间的间隙，得到了良好的密封效果，而且产品使用过程比较稳定，不易破损，结构简单，寿命较长。 | ||
| 申请公布号 | CN102425366A | 申请公布日期 | 2012.04.25 |
| 申请号 | CN201110332641.3 | 申请日期 | 2011.10.27 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 王丽荣;董金卫;慕晓航;赵星梅;郝永鹏 |
| 分类号 | E06B7/16(2006.01)I | 主分类号 | E06B7/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 一种密封装置，其特征在于，包括：充气密封圈及为所述充气密封圈充气的充气装置，所述充气密封圈用于密封待密封空间。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层 | ||