烘干机

摘要

本实用新型的烘干机包括：具有开口的箱体以及设置在所述箱体开口端的第一活动门和第二活动门，所述第一活动门和第二活动门均与所述箱体滑动连接，其特征在于，还包括用于收集水珠的水珠收集装置，所述水珠收集装置包括底板和挡板，所述底板设置在所述第一活动门远离所述箱体的表面上，且位于该表面靠近所述第二活动门的边缘处，所述挡板的一端与所述底板靠近第二活动门的一端连接，所述挡板的另一端向远离所述第一活动门的方向倾斜。本实用新型的烘干机设有收集水珠的收集装置，可防止水珠滴落到已烘干晶圆上。

主权项

一种烘干机，包括：具有开口的箱体以及设置在所述箱体开口端的第一活动门和第二活动门，所述第一活动门和第二活动门均与所述箱体滑动连接，其特征在于，还包括用于收集水珠的水珠收集装置，所述水珠收集装置包括底板和挡板，所述底板设置在所述第一活动门远离所述箱体的表面上，且位于该表面靠近所述第二活动门的边缘处，所述挡板的一端与所述底板靠近第二活动门的一端连接，所述挡板的另一端向远离所述第一活动门的方向倾斜。