用于化学机械研磨的漩涡电流监测方法和设备

摘要

一种研磨系统(20)，可具有一转动平台(24)；一固定于平台上的研磨垫(30)；一固定基材使其正面朝下对着研磨垫的载具头(10)；以及一漩涡电流监测系统，该漩涡电流监测系统包括至少部分通过研磨垫的一线圈或一强磁体。一研磨垫，具有一研磨层，和固定于该研磨层上的一线圈或一强磁体。一凹槽可以在该研磨垫里的透明窗中形成。

主权项

一种研磨部件，包括：置于可转动平台上的研磨垫，所述研磨垫包含具有研磨表面的研磨层和位于所述研磨层一侧上与所述研磨表面相对的背层；以及位于所述研磨层中的固体透明窗，所述透明窗具有与所述研磨表面齐平的顶表面、具有限定凹陷内表面的凹槽的底表面、所述凹槽的凹陷内表面和所述窗的顶表面之间的较薄区域、以及在所述顶表面和所述底表面之间围绕所述较薄区域的厚区域，所述厚区域并固定于所述研磨垫上；其中开口形成在所述背层中并与所述窗对齐；并且其中所述厚区域固定于所述研磨层和所述背层上。