发明名称 |
样品载体及透射电镜 |
摘要 |
本实用新型公开了一种样品载体,放置在样品台上用于承载样品,所述样品载体的周边设有圆周刻度。还公开了一种透射电镜,包括样品台和样品载体,所述样品载体放置在样品台上用于承载样品,所述样品台上还设有中轴线,所述样品载体的周边设有圆周刻度。本实用新型通过在所述样品台上还设有中轴线且所述样品载体的周边设有圆周刻度,可以借用该中轴线和圆周刻度调整样品的两端连线和样品台的位置关系,使得样品的两端连线和样品台的中轴线平行,从而,可以获得垂直的透射电镜影像。在透射电镜中观察垂直的透射电镜影像,不但可以方便测量人员测量,而且还可以有效提高测量精度和效率。 |
申请公布号 |
CN202205698U |
申请公布日期 |
2012.04.25 |
申请号 |
CN201120200044.0 |
申请日期 |
2011.06.14 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
发明人 |
李桂花;胡强;童琰非 |
分类号 |
H01J37/20(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/20(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种样品载体,放置在样品台上用于承载样品,其特征在于,所述样品载体的周边设有圆周刻度。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |