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发明名称 DEVICE FOR VACUUM DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1457582(B1) 申请公布日期 2012.04.25
申请号 EP20020777982 申请日期 2002.10.28
申请人 PANASONIC CORPORATION;CANON TOKKI CORPORATION;KIDO, JUNJI 发明人 KIDO, JUNJI;NISHIMORI, TAISUKE;KISHI, YASUO;KONDO, YUKIHIRO;NAKAGAWA, TERUO;YANAGI, YUUJI;MATSUMOTO, EIICHI;MAKI, SYUUJI
分类号 C23C14/24;C23C14/04;C23C14/22;H05B33/10;H05B33/14 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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