发明名称 |
多晶硅铸锭炉运行中热电偶温度补偿方法、装置和系统 |
摘要 |
本发明实施例提供了一种多晶硅铸锭炉运行中热电偶温度补偿方法、装置和系统,该方法包括:在多晶硅铸锭炉运行过程中,按照预设的时间间隔周期性地获取多组第一热电偶温度数据和多组第二热电偶温度数据;根据多组第一热电偶温度数据和多组第二热电偶温度数据,生成第二热电偶的温度补偿数据;当第一热电偶发生故障时,以第二热电偶取代第一热电偶,并将当前第二热电偶的温度数据与第二热电偶的温度补偿数据之和来替代第一热电偶的温度数据。基于该方法,当参与控制的热电偶发生故障并且不能更换时,采用另外一个热电偶取代发生故障的热电偶来控制温度,能保证生产的顺利进行,防止硅锭的成品率降低甚至失败,提高生产效率,降低成本。 |
申请公布号 |
CN102425003A |
申请公布日期 |
2012.04.25 |
申请号 |
CN201110430072.6 |
申请日期 |
2011.12.20 |
申请人 |
北京京仪世纪电子股份有限公司 |
发明人 |
梁仁和;李晓平;李文博;王丽丽 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
戴云霓 |
主权项 |
一种多晶硅铸锭炉运行中热电偶温度补偿方法,其特征在于,所述方法包括:在多晶硅铸锭炉运行过程中,按照预设的时间间隔周期性地获取多组第一热电偶温度数据和多组第二热电偶温度数据;根据所述多组第一热电偶温度数据和所述多组第二热电偶温度数据,生成第二热电偶的温度补偿数据;当所述第一热电偶发生故障时,以所述第二热电偶取代所述第一热电偶,并将当前第二热电偶的温度数据与所述第二热电偶的温度补偿数据之和来替代第一热电偶的温度数据。 |
地址 |
100079 北京市丰台区永外宋家庄苇子坑2号 |