| 发明名称 | 传感器元件及红外线传感器 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种传感器元件及红外线传感器，其具备：半导体基板；薄膜状的热电元件，其设置在所述半导体基板上并由钛酸锆酸铅构成；覆盖膜，其覆盖所述热电元件，且其最表面构成红外线的受光面；腔体，其在所述半导体基板的与所述热电元件相对的部分，形成从所述半导体基板的表面凹陷的形状，用于将所述热电元件与所述半导体基板热分离。 | ||
| 申请公布号 | CN202204598U | 申请公布日期 | 2012.04.25 |
| 申请号 | CN201120051689.2 | 申请日期 | 2011.02.28 |
| 申请人 | 罗姆股份有限公司 | 发明人 | 仲谷吾郎 |
| 分类号 | G01J5/12(2006.01)I;H01L27/16(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I | 主分类号 | G01J5/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 刘建 |
| 主权项 | 红外线传感器，其特征在于，具备：半导体基板；薄膜状的热电元件，其设置在所述半导体基板上并由钛酸锆酸铅构成；覆盖膜，其覆盖所述热电元件，且其最表面构成红外线的受光面；腔体，其在所述半导体基板的与所述热电元件相对的部分，形成从所述半导体基板的表面凹陷的形状，用于将所述热电元件与所述半导体基板热分离。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||