具备改进的水冷却结构的坩埚轴

摘要

本实用新型涉及硅单晶生产的单晶炉设备，旨在提供一种具备改进的水冷却结构的坩埚轴。该坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状，坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管；坩埚轴的内部设有一个空腔，该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构；进水管或出水管延伸至空腔中，且在其延伸段末端外沿环设一挡水板，使得挡水板与坩埚轴前端壳体之间、挡水板与坩埚轴侧面壳体之间成为冷却水的流动通道。在原有坩埚轴的基础上，对坩埚轴的内部冷却水流通水路的结构作了合理的优化，坩埚轴冷却效率由原来的30％提高至80％，坩埚轴使用过程中未曾发生与石墨轴烧结、坩埚轴紧固螺丝熔断等现象。

主权项

具备改进的水冷却结构的坩埚轴，坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状，坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管；其特征在于，坩埚轴的内部设有一个空腔，该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构；进水管或出水管延伸至空腔中，且在其延伸段末端的外沿环设一挡水板，使得挡水板与坩埚轴前端部壳体之间、挡水板与坩埚轴侧面壳体之间成为冷却水的流动通道。