一种动态范围可调的哈特曼波前传感器

摘要

本发明提出了一种动态范围可调的哈特曼波前传感器，由光学匹配系统、波前分割取样阵列、相位调制器和光电传感器组成，光学匹配系统用于将入射光波缩束，使入射光波束尺寸小于波前分割取样阵列的尺寸及相位调制器的尺寸，相位调制器置于光学匹配系统与波前分割取样阵列之间，其口径大于光学匹配系统通光口径，相位调制器对经缩束的入射波附加像差，在其通光口径内形成诸多子区域，该子区域与波前分割取样阵列的子孔径口径及排布一一对应，并将所产生的像差附加给通过对应子孔径的光波，波前分割取样阵列将经过相位调制器的光波分割成多束子光束，并分别聚焦到位于其焦面的光电传感器靶面上。本发明可广泛应用于各类波前大像差情况下的波前探测。

主权项

一种动态范围可调的哈特曼波前传感器，由光学匹配系统(1)、波前分割取样阵列(2)、相位调制器(3)和光电传感器(4)组成，光学匹配系统(1)用于将入射光波缩束，使入射光波束尺寸不超过波前分割取样阵列(2)的尺寸以及相位调制器(3)的尺寸，其特征在于相位调制器(3)置于光学匹配系统(1)与波前分割取样阵列(2)之间，其口径大于光学匹配系统(1)的通光口径，相位调制器(3)对经过缩束的入射波附加像差，在其通光口径内形成诸多子区域，该子区域与波前分割取样阵列(2)的子孔径口径及排布一一对应，并将所产生的像差附加给通过对应子孔径的光波，波前分割取样阵列(2)将经过相位调制器(3)的光波分割成多束子光束，并分别聚焦到位于其焦面的光电传感器(4)靶面上。