电流控制元件、存储元件、存储装置及电流控制元件的制造方法

摘要

一种电流控制元件，在被施加极性不同的电脉冲时也能够防止写入干扰的产生，而且能够在电阻变化元件流过大电流。该电流控制元件具有第1电极(32)、第2电极(31)、电流控制层(33)，电流控制层(33)由SiNx(0＜x≤0.85)构成，并且含有氢或者氟，而且在设氢或者氟的浓度为D(＝D0×1022atoms/cm3)、设电流控制层(33)的膜厚为d(nm)、设能够在第1电极(32)和第2电极(31)之间施加的电压的最大值为V0(V)时，D和x和d和V0满足(ln(10000(Cexp(αd)exp(βx))-1)/γ)2≤V0、(ln(1000(Cexp(αd)exp(βx))-1)/γ)2-(ln(10000(Cexp(αd)exp(βx))-1)/γ)2/2≥0，其中，C＝k1×D0k2、α、β、γ、k1和k2是常数。

主权项

一种电流控制元件，用于控制在被施加了极性为正和负的电脉冲时流过的电流，所述电流控制元件具有：第1电极、第2电极、以及被夹在所述第1电极和所述第2电极之间的电流控制层，所述电流控制层由SiNx构成，并且含有氢或者氟，其中0＜x≤0.85，设所述氢或者所述氟的浓度为D(＝D0×1022atoms/cm3)，设所述电流控制层的膜厚为d(nm)，设能够在所述第1电极和所述第2电极之间施加的电压的最大值为V0(V)，此时x和D和d和V0满足下式(1)、(2)：(ln(10000(Cexp(αd)exp(βx))‑1)/γ)2≤V0····(1)(ln(1000(Cexp(αd)exp(βx))‑1)/γ)2‑(ln(10000(Cexp(αd)exp(βx))‑1)/γ)2/2≥0····(2)其中，C＝k1×D0k2、α＝‑6.25×10‑1、β＝‑11.7、γ＝9.76，k1和k2是常数。