一种基于电光效应的加工微圆孔的激光扫描装置

摘要

本实用新型公开了一种基于电光效应加工微圆孔的激光扫描装置，包括一个激光器和一个待加工的工件，在所述激光器出射激光束面上设有一块平面反射镜，在平面反射镜与激光器之间设置有扩束器；所述沿平面反射镜反射激光束下方分别依次设置有两块互相垂直设置的电光晶体，两块电光晶体下方依次设置有聚焦镜和待加工件；所述两块电光晶体分别与电压驱动电连接。该装置通过两个互相垂直设置的电光晶体，控制水平和垂直设置的电光晶体输入电压的正余弦函数变化，改变出射光束的偏转角，实现出射光束扫描出微圆孔。本实用新型与现有技术相比，具有高速、高稳定的特点，其扫描速度快，可控性好。

主权项

一种基于电光效应加工微圆孔的激光扫描装置，包括一个激光器(1)和一个待加工的工件(7)，其特征在于，在所述激光器(1)出射激光束面上设有一块平面反射镜(3)，在平面反射镜(3)与激光器(1)之间设置有扩束器(2)；所述沿平面反射镜(3)反射激光束下方分别依次设置有两块互相垂直设置的电光晶体，两块电光晶体下方依次设置有聚焦镜(6)和待加工件(7)；所述两块电光晶体分别与电压驱动电连接。