| 发明名称 | 等离子体处理装置的衬里 | ||
| 摘要 | 1.外观设计产品的名称：等离子体处理装置的衬里。2.外观设计产品的用途：本产品是设置在使用等离子体对基板进行蚀刻等处理的等离子体处理装置内壁上的衬里，用于防止处理容器的构成材料等造成金属污染。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：立体图。 | ||
| 申请公布号 | CN301895306S | 申请公布日期 | 2012.04.25 |
| 申请号 | CN201130327098.9 | 申请日期 | 2011.09.13 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 铃木公贵;山下润;伴昌和;植田笃 |
| 分类号 | 15-99 | 主分类号 | 15-99 |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | |||
| 地址 | 日本东京 | ||