发明名称 晶粒取放机构
摘要 本发明是一种取放晶粒机构,包含一固定结构、一第一连杆、一第二连杆以及一弹性件连接所述的第一连杆以及第二连杆,所述的固定结构具有一第一侧以及第二侧,所述的第一连杆具有一第一活动端在所述的第二侧、一第一尾端枢接于所述的第一侧,以及一第一传动件设置在所述的第一连杆上,所述的第二连杆具有一第二活动端在所述的第二侧、一第二尾端枢接于所述的第一侧,以及一第二传动件设置在所述的第二连杆上,所述的第一传动件以及第二传动件间设有一凸轮,由所述的凸轮转动推动所述的第一传动件以及第二传动件,并由所述的弹性件拉动所述的第一连杆以及第二连杆周期性摆动,由所述的第一活动端驱动一摆臂产生摆动并作晶粒的取放。
申请公布号 CN101882563B 申请公布日期 2012.04.25
申请号 CN200910137684.9 申请日期 2009.05.07
申请人 旺矽科技股份有限公司 发明人 杨天德
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人 孙皓晨
主权项 一种晶粒取放机构,其特征在于,包含:一固定结构,具有相对的一第一侧以及第二侧;一第一连杆,具有一第一活动端、一第一传动件以及一第一尾端,所述的第一传动件设置在所述的第一连杆上,所述的第一尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上,所述的第一活动端在所述的固定结构的第二侧;一第二连杆,具有一第二活动端、一第二传动件以及一第二尾端,所述的第二传动件设置在所述的第二连杆上,所述的第二尾端枢接于所述的固定结构的第一侧上,所述的第二活动端在所述的固定结构的第二侧;一凸轮,设置在所述的第一传动件以及所述的第二传动件之间;以及一弹性件,连接所述的第一连杆与所述的第二连杆,所述的第一连杆以及所述的第二连杆凭借所述的弹性件的拉力,使所述的第一传动件以及第二传动件抵靠在所述的凸轮的外围;其中,凭借所述的凸轮的转动,以分别推动所述的第一传动件以及所述的第二传动件,并凭借所述的弹性件拉动,以使所述的第一连杆以及所述的第二连杆产生周期性摆动,凭借所述的第一活动端驱动一摆臂产生摆动,并作所述的晶粒的取放。
地址 中国台湾