发明名称 |
在硅片正面上形成栅极的方法 |
摘要 |
本发明涉及在具有ARC层的硅片上形成正面栅极的方法,所述方法包括以下步骤:(1)印刷并干燥金属浆料A,所述金属浆料A包含具有0.5-8重量%玻璃料的无机成分并且具有烧透能力,其中所述金属浆料A在所述ARC层上印刷成网格图案,所述网格图案包括:(i)形成底层指状线的薄的平行指状线以及(ii)与所述指状线以直角相交的母线,(2)在所述底层指状线上印刷并干燥金属浆料B以形成叠加在所述底层指状线上方的顶层指状线,所述金属浆料B包含具有0-3重量%玻璃料的无机成分,以及(3)焙烧所述双面印刷的硅片,其中与所述金属浆料A的无机成分相比,所述金属浆料B的无机成分包含较少的玻璃料和任选存在的其它无机添加剂。 |
申请公布号 |
CN102428566A |
申请公布日期 |
2012.04.25 |
申请号 |
CN201080022310.3 |
申请日期 |
2010.05.20 |
申请人 |
E.I.内穆尔杜邦公司 |
发明人 |
D·K·安德森;R·D·安德森;G·劳迪辛奥;林政男;高世铭;吴隽夔 |
分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I;H01B1/16(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/0224(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
朱黎明 |
主权项 |
在硅片正面上形成栅极的方法,在所述硅片的所述正面上具有p‑型区域、n‑型区域、p‑n结和ARC层,所述方法包括如下步骤:(1)在所述ARC层上印刷并干燥具有烧透能力的金属浆料A,其中所述金属浆料A印刷成网格图案,所述网格图案包括:(i)形成底层指状线的薄的平行指状线,以及(ii)与所述指状线以直角相交的两条或更多条平行母线,(2)在底层指状线上印刷并干燥金属浆料B,形成叠加在所述底层指状线上方的顶层指状线,以及(3)焙烧所述双面印刷的硅片,其中所述金属浆料A包含有机载体和无机成分,所述无机成分包含(a1)至少一种选自银、铜和镍的导电金属粉末,以及(a2)0.5‑8重量%的玻璃料,其中所述金属浆料B包含有机载体和无机成分,所述无机成分包含(b1)至少一种选自银、铜和镍的导电金属粉末,以及(b2)0‑3重量%的玻璃料,并且其中与所述金属浆料A的无机成分相比,所述金属浆料B的无机成分包含较少的玻璃料和任选存在的其它无机添加剂。 |
地址 |
美国特拉华州 |