研磨垫

摘要

本实用新型涉及一种用于化学机械研磨的研磨垫，该种研磨垫，包括带有光学终点检测窗口的研磨垫基材、研磨垫基材背面的粘贴层以及粘贴层上的背纸，所述背纸包括第一部分背纸和第二部分背纸；更换研磨垫时，研磨垫放置在研磨机台上且研磨垫的光学终点检测窗口对准研磨机台上的信号窗口，揭去研磨垫上的第一部分背纸黏贴研磨垫固定在研磨机台上，再揭去研磨垫的第二部分背纸黏贴研磨垫，本实用新型具有结构简单，成本低、易更换，研磨垫的光学终点检测窗口准确对准化学机械研磨机台上的信号窗口，更换效果好，不产生偏移的优点。

主权项

一种用于化学机械研磨的研磨垫，包括带有光学终点检测窗口的研磨垫基材、研磨垫基材背面的粘贴层以及粘贴层上的背纸，其特征在于：所述背纸包括第一部分背纸和第二部分背纸。