一种氦气循环冷却系统

摘要

本发明实施例公开了一种氦气循环冷却系统，包括：氦气瓶、过滤减压单元、低压缓冲设备、增压装置、高压缓冲设备、待冷却设备和换热器，其中：所述氦气瓶的输出端经过所述过滤减压单元与低压缓冲设备氦气补给输入侧连接；所述换热器的冷气输出端与低压缓冲设备循环气体输入侧连接；所述低压缓冲设备、增压装置、高压缓冲设备依次连接对氦气并依次进行相应处理；所述待冷却设备热氦气输出端与所述换热器的气体输入端连接。本发明氦气在循环气路中循环使用，节约了氦气的使用量，降低了成本；所述氦气瓶设置为两个，一用一备保证了氦气的连续供应；气动阀和/或质量流量计的气体压力自检和压力调节，方便操作并提高调整及时性。

主权项

一种氦气循环冷却系统，其特征在于，包括：氦气瓶、过滤减压单元、低压缓冲设备、增压装置、高压缓冲设备、待冷却设备和换热器，其中：所述氦气瓶的输出端经过所述过滤减压单元与低压缓冲设备氦气补给输入侧连接；所述换热器的冷气输出端与低压缓冲设备循环气体输入侧连接；所述低压缓冲设备、增压装置、高压缓冲设备依次连接对氦气并依次进行相应处理；所述待冷却设备热氦气输出端与所述换热器的气体输入端连接。