使用分段预图案的定向自组装嵌段共聚物

摘要

使用例如光刻法在基底上形成开口，该开口具有侧壁，其横截面由曲线轮廓的及凸面的区段构成。例如，该开口的横截面可由交迭的圆形区域构成。该侧壁在多个点邻接，在该邻接处限定突出部。包括嵌段共聚物的聚合物的层施加于该开口及该基底上，并让其自组装。在开口中形成分离、隔开的畴，将所述畴除去以形成孔，该孔可被转印至下方基底。这些畴及与它们所对应的孔的位置由侧壁及它们的相关突出部处定向于预定的位置。这些孔分开的距离可大于或小于该嵌段共聚物(及任何添加剂)在无任何侧壁下自组装时的这些孔分开的距离。

主权项

一种方法，包括：提供表面中有开口的基底，该开口有边界，该边界包括凸面的、曲线轮廓的侧壁，该侧壁在它们邻接处限定突出部，该侧壁在该基底表面具有横截面，该横截面由各具小于100nm的平均曲率半径的各个区段构成；在所述表面上施加包括嵌段共聚物的聚合物层，其中该共聚物的成分彼此不混溶；让该聚合物在该开口内部形成多个分离、隔开的畴，其中：(i)各个分离、隔开的畴的位置由至少一个侧壁及突出部预定，该突出部形成所述至少一个侧壁的至少一部分，及(ii)所述畴具有各自的几何中心，且对任何给定的畴而言，其中心与该给定畴的最近邻者的中心的分开距离小于下述a)与b)的总和：a)为与预定该给定畴的位置的所述至少一个侧壁对应的区段的平均曲率半径(或该多个区段的平均曲率半径的平均值)，b)为与预定该给定畴的最近邻者位置的所述至少一个侧壁对应的区段的平均曲率半径(或该多个区段的平均曲率半径的平均值)。