非晶硅薄膜化学气相沉积系统

摘要

本实用新型公开了一种非晶硅薄膜化学气相沉积系统，包括电极盒及多个配气箱，所述多个配气箱分别通过管道与一输气管连接，所述输送管的末端与所述电极盒的进气口连接，所述配气箱与所述输气管连接的管道上设有调压阀和气动阀。该非晶硅薄膜化学气相沉积系统中，多配气箱通过一个输气管给电极盒进行输气，这样在镀膜过程中根据镀膜层的性质，只需控制各配气箱气体的开关、压力及流量就可使残留在输气管中的气体得到充分的利用，从而减少资源的浪费、提高气体的利用率，降低企业的生产成本，而且还可以提高镀膜的质量，获得良好的工艺效果。

主权项

一种非晶硅薄膜化学气相沉积系统，包括电极盒及多个配气箱，其特征在于：所述多个配气箱分别通过管道与一输气管连接，所述输送管的末端与所述电极盒的进气口连接，所述配气箱与所述输气管连接的管道上设有调压阀和气动阀。