X射线摄像设备及X射线摄影装置

摘要

本发明提供一种X射线摄像设备及X射线摄影装置。X射线摄像设备(1)具备X射线检测部(2)、冷电子源(3)、以及遮光涂层(9)。X射线检测部(2)具备由若X射线入射则产生电荷的X射线变换材料构成的X射线变换层、形成在X射线变换层的入射面的第一电荷注入阻止层、以及形成在X射线变换层的背面的第二电荷注入阻止层。冷电子源(3)具备分别向X射线检测部(2)的第二电荷注入阻止层能够发射电子的配置成多个矩阵状的电子发射部。遮光涂层(9)对可见光向X射线检测部(2)的入射进行遮挡。

主权项

一种X射线摄像设备，其中，具有：X射线检测部，其包括：具有X射线入射的第一面以及与该第一面相反一侧的第二面并由若所述X射线入射则产生电荷的X射线变换材料构成X射线变换层、形成在所述X射线变换层的所述第一面的第一电荷注入阻止层、形成在所述X射线变换层的所述第二面的第二电荷注入阻止层；冷电子源，其具备能够分别向所述X射线检测部的所述第二电荷注入阻止层发射电子的多个配置成矩阵状的电子发射部；遮光部，其对可见光向所述X射线检测部的入射进行遮挡；电压施加部，其相对于所述X射线检测部的所述X射线变换层施加使引起雪崩倍增的电场产生的电压；电子源驱动部，其依次驱动所述冷电子源的所述多个电子发射部而使其发射电子；读出部，其对通过在所述X射线变换层中入射所述X射线而产生、并被从所述电子发射部发射的电子而中和的电荷，电子性地进行检测。