| 发明名称 | 具有可动导轨的真空传送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于将基体传送通过真空腔的装置，特别是带有其上或该处可布置基体的基体承载架(1，100，200)的涂布机。所述基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨(7，107，207)，其特征在于，导轨被一个或少量几个间隔的支承(6，106，109)与基体承载架分隔开。 | ||
| 申请公布号 | CN101045500B | 申请公布日期 | 2012.04.25 |
| 申请号 | CN200610137735.4 | 申请日期 | 2006.10.27 |
| 申请人 | 应用材料合资有限公司 | 发明人 | 奥利弗·海梅尔;安德烈亚斯·伊什科;迪特尔·哈斯 |
| 分类号 | B65G49/00(2006.01)I;B65G49/05(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | B65G49/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种用于将基体传送通过真空腔的装置，带有可布置基体的基体承载架(1，100，200)，其中，基体承载架具有至少一个至少沿基体承载架的一侧延伸的导轨(7，107，207)，其特征在于，导轨被一个或几个间隔的支承(6，106，109)与基体承载架分隔开，从而在所述导轨和基体承载架之间形成间隙，以使部分导轨可以相对于所述基体承载架运动，并在所述导轨和基体承载架之间不会产生磨损。 | ||
| 地址 | 德国阿尔策瑙 | ||