一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法

摘要

一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法，当所述转子转速在低速运转时，分散PID控制器调用高刚度、高阻尼的控制参数对所述磁悬浮分子泵进行控制，随着转子升速到中低速时，渐进开启位移交叉反馈控制器，有效抑制转子转动过程中的转子进动以及系统结构模态引起的振动；当所述转子转速达到中速时，将所述分散PID控制器的参数渐进切换到低刚度、低阻尼的控制参数；当所述转子转速达到中高速时，渐进启动速度交叉反馈控制器，抑制转子转动过程中的转子章动，保证转子平稳到达额定工作转速。本方法解决了分子泵工作过程中转子陀螺效应和系统结构模态引起转子振动的技术问题，在分子泵工作过程中能有效抑制转子振动，可以保证磁悬浮分子泵稳定运行。

主权项

一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）磁悬浮分子泵控制器控制磁悬浮分子泵电机升速，通过转子位移检测装置检测转子位移，通过转子转速检测装置检测转子转速，并将检测到的所述转子位移和转子转速信息发送给所述磁悬浮分子泵控制器；所述磁悬浮分子泵控制器包括分散PID控制器、位移交叉反馈控制器和速度交叉反馈控制器，所述分散PID控制器中预先设置有两组控制参数，第一组控制参数具有高刚度、高阻尼的特性，第二组控制参数具有低刚度、低阻尼的特性，当所述转子从零开始升速时，所述分散PID控制器调用第一组控制参数对所述磁悬浮分子泵进行控制；（2）当所述转子转速升高至中低速时，渐进开启位移交叉反馈控制器； （3）所述转子转速继续升高，当所述转子转速达到中速时，将所述分散PID控制器的参数渐进切换到第二组控制参数；（4）当所述转子转速达到中高速时，渐进启动速度交叉反馈控制器，然后所述转子的转速继续升高，直至达到工作转速。