| 发明名称 | 靶材的真空包装方法 | ||
| 摘要 | 一种靶材的真空包装方法，包括：靶材装入包装袋，对包装袋进行第一次抽真空；向包装袋充入惰性气体；对包装袋进行第二次抽真空；将包装袋封口。利用本发明的方法，可以很好的确保包装袋内没有容易引起靶材生锈或表面被氧化的空气。 | ||
| 申请公布号 | CN102424134A | 申请公布日期 | 2012.04.25 |
| 申请号 | CN201110329880.3 | 申请日期 | 2011.10.26 |
| 申请人 | 余姚康富特电子材料有限公司 | 发明人 | 潘杰;姚力军;王学泽;郑文翔 |
| 分类号 | B65B31/02(2006.01)I;B65B31/04(2006.01)I | 主分类号 | B65B31/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种靶材的真空包装方法，其特征在于，包括：靶材装入包装袋，对包装袋进行第一次抽真空；向包装袋充入惰性气体；对包装袋进行第二次抽真空；将包装袋封口。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||