发明名称 |
三维矢量水听器 |
摘要 |
本发明涉及MEMS传感器领域中的矢量水听器,具体是一种三维矢量水听器。解决了现有组合式三维矢量水听器存在的不利于实现微型化、且不易批量化生产等问题,包括分别用于敏感X向、Y向、Z向三方向水下声信号的敏感单元;用于敏感Z向单方向水下声信号的敏感单元包含半导体框架、悬置于半导体框架内且平行设置的两悬臂梁,两悬臂梁等长,且单端与半导体框架同一边框固定,自由端通过连接梁固定于一起;两悬臂梁与半导体框架固定的端部分别设有应变敏感元件,半导体框架上设有两基准敏感元件,连接组成电桥电路;两敏感单元的半导体框架为同平面集成。本发明结构简单、新颖,单片集成,易于微型化,易于制作和批量化生产,应用范围广阔。 |
申请公布号 |
CN102103013B |
申请公布日期 |
2012.04.25 |
申请号 |
CN201010581544.3 |
申请日期 |
2010.12.10 |
申请人 |
中北大学 |
发明人 |
张国军;杨玉华;何常德;关凌纲;石归雄;熊继军;张文栋;许娇;王晓瑶 |
分类号 |
G01H11/06(2006.01)I;G01S7/521(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01H11/06(2006.01)I |
代理机构 |
太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 |
代理人 |
朱源;骆洋 |
主权项 |
一种三维矢量水听器,包括采用MEMS微加工技术加工获得的分别用于敏感X向、Y向、Z向三方向水下声信号的敏感单元;其中,用于敏感X向、Y向两方向水下声信号的敏感单元为同一敏感单元,包含第一半导体框架(1)、架设于第一半导体框架(1)中央的十字形悬臂梁(2)、垂直固定于十字形悬臂梁(2)中央的微型柱状体(3),十字形悬臂梁(2)的四梁端部分别设置有应变敏感元件(4),十字形悬臂梁(2)四梁端部的应变敏感元件(4)连接组成分别用于测量X向、Y向两方向水下声信号的两个全桥差动电路,即十字形悬臂梁(2)X方向两根梁上四个端部的应变敏感元件组成X向水下声信号全桥差动电路,十字形悬臂梁(2)Y方向两根梁上四个端部的应变敏感元件组成Y向水下声信号全桥差动电路;其特征在于:用于敏感Z向单方向水下声信号的敏感单元包含第二半导体框架(5)、悬置于第二半导体框架(5)内且平行设置的两悬臂梁(6、7),两悬臂梁(6、7)等长,且单端与第二半导体框架(5)同一边框固定,自由端通过连接梁(8)固定于一起;两悬臂梁(6、7)与第二半导体框架(5)固定的端部分别设有应变敏感元件(9),第二半导体框架(5)上设有两基准敏感元件(10),两基准敏感元件(10)与两悬臂梁(6、7)端部的应变敏感元件(9)连接组成用于测量Z向单方向水下声信号的电桥电路,两悬臂梁(6、7)端部应变敏感元件(9)分别接入电桥电路的相对桥臂;第一和第二半导体框架(1、5)为同平面集成。 |
地址 |
030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号 |