自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置

摘要

本实用新型公开了一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，包含一废油储槽、一初滤单元、一初滤储槽以及一精滤单元，是将废油储槽内的废油泥泵送入该初滤单元，利用该初滤单元的离心机采以大量且连续的方式，将废油泥进行固液分离，以快速地筛除废油泥中大部份的颗粒与杂质，降低后级处理时薄膜的堵塞，以延长薄膜的操作周期、降低成本，且能获得符合回收标准的再生油，符合环保要求的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置。

主权项

一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，包含一废油储槽、一初滤单元、一初储储槽及至少一精滤单元，其特征在于： 该废油储槽，储置废油泥；该初滤单元，与该废油储槽连通，利用离心沉降方式将废油泥进行固液分离，滤除废油泥中的固形物，并取得其中的初滤滤液；该初滤储槽，暂存经该初滤单元所释出的初滤滤液；该精滤单元，包含一与该初滤储槽导通的精滤槽、一装设在该精滤槽内的精滤膜组、一与该精滤膜组链接的驱动机构，以及一用以盛装经过该精滤模块处理后的再生油的再生油槽。