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发明名称
Polymer-stripping composition and method for removing a polymer
摘要
申请公布号
EP1752829(B1)
申请公布日期
2012.04.25
申请号
EP20060254201
申请日期
2006.08.09
申请人
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人
SATOH, SHINJI
分类号
G03F7/42;G03F7/00
主分类号
G03F7/42
代理机构
代理人
主权项
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