| 发明名称 | 外观检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供外观检查装置，该外观检查装置具有：第1基板保持部，其以能够观察基板表面的方式对基板进行保持；第2基板保持部，其以能够观察基板背面的方式对基板进行保持；第1基板保持部移动机构，其使第1基板保持部移动；第2基板保持部移动机构，其使第2基板保持部移动；以及控制装置，其控制第1基板保持部移动机构和第2基板保持部移动机构，以使利用第1基板保持部观察基板表面时基板的位置和利用第2基板保持部观察基板背面时基板的位置大致一致。 | ||
| 申请公布号 | CN101308100B | 申请公布日期 | 2012.04.25 |
| 申请号 | CN200810107831.3 | 申请日期 | 2008.05.14 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 辻治之 |
| 分类号 | G01N21/956(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/956(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 一种外观检查装置，该外观检查装置具有：第1基板保持部，其通过吸附保持基板的大致中央的背面侧而以能够观察基板表面的方式对基板进行保持；第2基板保持部，其通过吸附保持基板的外缘的背面侧而以能够观察基板背面的方式对基板进行保持；第1基板保持部移动机构，其使第1基板保持部移动；第2基板保持部移动机构，其使第2基板保持部移动；以及控制装置，其控制第1基板保持部移动机构和第2基板保持部移动机构，以使利用第1基板保持部观察基板的表面时基板的位置和利用第2基板保持部观察基板的背面时基板的位置大致一致。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||