发明名称 COMPOSITION FOR POLISHING SURFACE MADE OF SILICON DIOXIDE
摘要
申请公布号 EP2106426(B1) 申请公布日期 2012.04.25
申请号 EP20070858192 申请日期 2007.12.28
申请人 BASF SE 发明人 BEHRENS, SVEN, HOLGER;LIU, YAQIAN;KERN, GUENTER;DEBUS, HEIDRUN
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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