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经营范围
发明名称
COMPOSITION FOR POLISHING SURFACE MADE OF SILICON DIOXIDE
摘要
申请公布号
EP2106426(B1)
申请公布日期
2012.04.25
申请号
EP20070858192
申请日期
2007.12.28
申请人
BASF SE
发明人
BEHRENS, SVEN, HOLGER;LIU, YAQIAN;KERN, GUENTER;DEBUS, HEIDRUN
分类号
C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306
主分类号
C09G1/02
代理机构
代理人
主权项
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