晶圆研磨结构

摘要

一种晶圆研磨结构，其包含一环型本体；多数设于环型本体上且连通其内、外侧之排液孔；以及多数设于环型本体一面上之排液槽。藉此，可将环型本体结合于一研磨机构上，并将晶圆设于环型本体中，以利用研磨机构带动环型本体进行晶圆之研磨，且于研磨时可使工作废液及废粒由排液孔与排液槽快速排出，而达到避免工作废液及废粒造成晶圆之重复污染以及有效提升产品良率之功效。