| 摘要 |
本发明提供一种可以将玻璃基板有效率且稳定地从吸附薄片剥离的玻璃基板的剥离装置。;本发明之板状体的剥离方法是使被吸附保持在吸附薄片的板状体从前述吸附薄片剥离的板状体的剥离方法，其特征为：藉由来自于与吸附薄片为相反面的复数个吸附垫，将被吸附保持在前述吸附薄片的前述板状体加以保持，再藉由从高压水供给喷嘴朝向前述板状体与前述吸附薄片的交界部喷出高压水，使前述板状体缘部从吸附薄片分开，对已分开之前述板状体缘部与前述吸附薄片之间的间隙更进一步地供给前述高压水而一面解除板状体相对于吸附薄片的吸附，同时使前述吸附垫朝向剥离方向移动，使前述板状体从前述吸附薄片剥离。 |
