汽化器

摘要

本发明提供一种用于自气液混合流体产生处理气体之汽化器，其包括界定该汽化器之处理空间之容器。供给头安置于该容器内，该供给头具有复数个喷雾孔以喷洒该流体。加热通道安置于容器内之该等喷雾孔下方。该加热通道组态为对通过其中之流体加热并由此产生处理气体。气体传递通道与该容器相连接，以自加热通道下方横向传递处理气体。气雾接收器系提供于该容器处且在该气体传递通道下方。