| 摘要 |
1. Способ текстурирования кремниевых пластин, включающий: ! - погружение пластин в щелочной раствор с рН>10, и ! - приложение разности потенциалов между пластиной и платиновым электродом, ! причем ! - щелочной раствор представляет собой раствор КОН или NaOH с концентрацией КОН или NaOH приблизительно от 2 мас.% до приблизительно 40 мас.%, ! - температура ванны составляет приблизительно от 30°С до приблизительно 70°С, !- продолжительность поляризации составляет от 5 мин до приблизительно 30 мин, и ! - потенциал, прикладываемый между пластиной и платиновым противоэлектродом, изменяется импульсно от +20 В до +85 В. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что концентрация щелочи находится в интервале приблизительно от 10 мас.% до приблизительно 40 мас.%, а температура ванны - приблизительно от 30°С до приблизительно 50°С. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что концентрация щелочи находится в интервале от 2 мас.% до 10 мас.%, а температура ванны - в интервале от 30°С до 50°С. ! 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что температура ванны находится в интервале от 50°С до точки кипения раствора КОН или NaOH. ! 5. Способ по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что пластины подвергают предварительному травлению в течение периода времени перед приложением потенциала путем погружения в щелочной раствор без приложения потенциала. !6. Способ по п.5, отличающийся тем, что период предварительного травления варьирует от 1-2 с до приблизительно 30 мин, предпочтительно приблизительно от 5 мин до 10 мин. |
