| 摘要 |
1. Способ изготовления полупроводникового газового сенсора, включающий формирование на диэлектрической подложке путем магнетронного напыления платины контактных площадок и слоя платинового термосопротивления, отличающийся тем, что при нанесении вышеупомянутых слоев в платину добавляют никель, между ними формируют изолирующий слой оксида кремния, на слой платинового термосопротивления наносится дополнительный слой газочувствительной пленки In-Y-O. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что контактные площадки формируются методом фотолитографии. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что изолирующий слой оксида кремния формируют методом ионно-лучевого распыления. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что слой газочувствительной пленки In-Y-O формируют методом взрывной фотолитографии. |
