Verfahren zum Bestimmen einer Sauerstoffkonzentration in einer Atmosphärendruck-Plasmakammer während eines Plasmaprozesses

摘要

Verfahren zum Bestimmen einer Sauerstoffkonzentration in einer Atmosphärendruck-Plasmakammer während eines Plasmaprozesses, bei dem eine vom Plasma emittierte optische Strahlung erfasst wird, wobei eine Intensität mindestens eines für Stickstoffmonoxid charakteristischen Wellenlängenbereichs (SLNO1 bis SLNO4) der optischen Strahlung ermittelt wird, wobei die ermittelte Intensität in einer Auswertung als umgekehrt proportional zur Sauerstoffkonzentration berücksichtigt wird und wobei das Verfahren in-situ durchgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einmalig eine Sauerstoffkonzentration im Plasmaprozess mittels eines weiteren Messverfahrens bestimmt wird, wobei die Intensität des für Stickstoffmonoxid charakteristischen Wellenlängenbereichs (SLNO1 bis SLNO4) oder das Verhältnis der Intensitäten des für Stickstoffmonoxid (SLNO1 bis SLNO4) charakteristischen Wellenlängenbereichs und des für Stickstoff (SLN21 bis SLN24) charakteristischen Wellenlängenbereichs bei mindestens zwei unterschiedlichen Sauerstoffkonzentrationen bestimmt und mit der jeweiligen Sauerstoffkonzentration skaliert wird.