发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zur Metallisierung von Rastersondenspitzen |
摘要 |
Vorrichtung (40) zur Metallisierung von Rastersondenspitzen (41) mit mindestens einem Cantilever (42) einschließlich einer Sondenspitze (41), wobei der Cantilever (42) mit einer Metallsalz-Lösung (43) in Kontakt steht und die Metallsalz-Lösung (43) zumindest als Flüssigkeitsfilm ausgebildet ist, der mit der Sondenspitze (41) in enger Berührung steht, und zumindest mit einer Lichtquelle (45), wobei die Metallisierung in Form einer Metallpartikel-Abscheidung als Metallpartikelcluster (46) durchgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass auf den Cantilever (42) mit der mit der Metallsalz-Lösung (43) bedeckten Sondenspitze (41) mittels der Lichtquelle (45) eine großflächige Beleuchtung (44) mit beliebiger Einstrahlungsrichtung (47) gerichtet ist, wobei die sich in der Metallsalz-Lösung (43) ausbildenden Metallatome (48) zu der nanometerdimensionierten Metallpartikel-Abscheidung führen, die auf den spitzen Endbereich (51) der flüssigkeitsbenetzten Sondenspitze (41) räumlich begrenzt ist.
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申请公布号 |
DE102009023796(B4) |
申请公布日期 |
2012.04.19 |
申请号 |
DE20091023796 |
申请日期 |
2009.05.22 |
申请人 |
TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN |
发明人 |
ENG, LUKAS M.;HAERTLING, THOMAS;OLK, PHILLIP;WENZEL, MARC T. |
分类号 |
G01Q70/14;B82Y35/00;G01Q60/56;G01Q70/16 |
主分类号 |
G01Q70/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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