发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Metallisierung von Rastersondenspitzen
摘要 Vorrichtung (40) zur Metallisierung von Rastersondenspitzen (41) mit mindestens einem Cantilever (42) einschließlich einer Sondenspitze (41), wobei der Cantilever (42) mit einer Metallsalz-Lösung (43) in Kontakt steht und die Metallsalz-Lösung (43) zumindest als Flüssigkeitsfilm ausgebildet ist, der mit der Sondenspitze (41) in enger Berührung steht, und zumindest mit einer Lichtquelle (45), wobei die Metallisierung in Form einer Metallpartikel-Abscheidung als Metallpartikelcluster (46) durchgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass auf den Cantilever (42) mit der mit der Metallsalz-Lösung (43) bedeckten Sondenspitze (41) mittels der Lichtquelle (45) eine großflächige Beleuchtung (44) mit beliebiger Einstrahlungsrichtung (47) gerichtet ist, wobei die sich in der Metallsalz-Lösung (43) ausbildenden Metallatome (48) zu der nanometerdimensionierten Metallpartikel-Abscheidung führen, die auf den spitzen Endbereich (51) der flüssigkeitsbenetzten Sondenspitze (41) räumlich begrenzt ist.
申请公布号 DE102009023796(B4) 申请公布日期 2012.04.19
申请号 DE20091023796 申请日期 2009.05.22
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN 发明人 ENG, LUKAS M.;HAERTLING, THOMAS;OLK, PHILLIP;WENZEL, MARC T.
分类号 G01Q70/14;B82Y35/00;G01Q60/56;G01Q70/16 主分类号 G01Q70/14
代理机构 代理人
主权项
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